為什么我需要監(jiān)視潔凈室的狀態(tài)?潔凈室為什么要進(jìn)行實(shí)時(shí)在線塵埃粒子監(jiān)測(cè)?

　　有兩個(gè)主要的原因，你會(huì)監(jiān)視你的潔凈室。一個(gè)是驗(yàn)證您的過(guò)程環(huán)境是否在所需的規(guī)格下執(zhí)行。另一種是記錄過(guò)程環(huán)境的歷史數(shù)據(jù)。潔凈室是根據(jù)要生產(chǎn)的產(chǎn)品的具體要求而建造的。污染對(duì)這些產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量有負(fù)面影響。潔凈室環(huán)境非?；钴S，產(chǎn)品和人員在不斷變化，因此污染事件隨時(shí)可能發(fā)生。通過(guò)監(jiān)測(cè)，您可以隨時(shí)了解環(huán)境何時(shí)不安全地生成產(chǎn)品?；仡櫄v史數(shù)據(jù)的能力是一個(gè)非常有價(jià)值的工具。趨勢(shì)圖和事件記錄可以幫助定義設(shè)備和清潔的維護(hù)周期。此外，參考這些數(shù)據(jù)后，死后分析就會(huì)簡(jiǎn)化。這些報(bào)告將作為可用于向客戶，政府組織和監(jiān)管委員會(huì)提供支持?jǐn)?shù)據(jù)的記錄。

　　我不能每天只雇一些人到每個(gè)房間去衡量每個(gè)地區(qū)的清潔程度嗎?

　　從歷史上看，大多數(shù)公司都是以這種方式開始的，但是公司了解到，確定房間中的粒子水平并不像一次讀取那么簡(jiǎn)單。無(wú)論產(chǎn)品暴露在何處，整個(gè)潔凈室內(nèi)的多個(gè)位置都必須測(cè)量微粒級(jí)別。在HEPA或ULPA過(guò)濾器附近進(jìn)行測(cè)量的情況下，可能會(huì)顯示出較低的顆粒水平，但在產(chǎn)品水平上，工作表面的顆粒水平可能不合格，導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷并降低產(chǎn)量。潔凈室過(guò)程是動(dòng)態(tài)的。粒子脫落事件很難預(yù)測(cè)，并且可以在一天中隨機(jī)發(fā)生。以持續(xù)的自動(dòng)化的方式監(jiān)視這個(gè)環(huán)境將有助于在這些類型的問(wèn)題失控或影響生產(chǎn)之前發(fā)現(xiàn)這些問(wèn)題。價(jià)值數(shù)百萬(wàn)美元的產(chǎn)品可以每天通過(guò)潔凈室，具體取決于設(shè)施的類型。發(fā)現(xiàn)污染問(wèn)題遲到一兩天可能是一個(gè)昂貴的和/或?yàn)?zāi)難性的情況。在大多數(shù)情況下，污染監(jiān)測(cè)設(shè)備和系統(tǒng)的投資回報(bào)(ROI)可以在前幾個(gè)檢測(cè)到的事件中實(shí)現(xiàn)。

　　我怎樣才能有效地監(jiān)控我的潔凈室?

　　首先，您必須確定產(chǎn)品和流程的風(fēng)險(xiǎn)。另外，您需要了解潔凈室的設(shè)計(jì)意圖。這是必要的，因?yàn)槟霝閼?yīng)用程序選擇合適的儀器。10000級(jí)(ISO 7級(jí))潔凈室將不會(huì)被有效監(jiān)測(cè)0.1微米。使用0.3或0.5粒子計(jì)數(shù)器將是更好的選擇。

　　確定關(guān)鍵位置(污染可能影響產(chǎn)品或大量產(chǎn)品的位置)

　　確定繁忙的地點(diǎn)(產(chǎn)品移動(dòng)或正在制造的地點(diǎn))。

　　在運(yùn)行狀態(tài)下對(duì)無(wú)塵室微粒數(shù)據(jù)進(jìn)行評(píng)估。在操作狀態(tài)下收集數(shù)據(jù)(制造過(guò)程實(shí)際發(fā)生時(shí))對(duì)于確定您處于風(fēng)險(xiǎn)中的位置非常重要。

　　當(dāng)達(dá)到和/或超過(guò)控制極限時(shí)，污染監(jiān)測(cè)系統(tǒng)將能夠跟蹤，記錄和報(bào)警。

　　我需要監(jiān)測(cè)什么尺寸的顆粒?

　　這是由您的產(chǎn)品或您的過(guò)程決定的。覆蓋率和預(yù)算等其他因素也在起作用?？赡苡绊懩漠a(chǎn)品或更小的最小尺寸的顆粒是一個(gè)很好的起點(diǎn)。但是，整個(gè)過(guò)程的預(yù)算和覆蓋面也必須考慮在內(nèi)。記住一個(gè)重要的因素。粒子脫落事件發(fā)生在一個(gè)以上的粒度。在0.1微米或更低的分辨率的潔凈室中有一個(gè)粒子傳感器，而在同一潔凈室中有十個(gè)具有0.3微米分辨率的粒子傳感器可能不是一個(gè)更好的情況。你必須看看發(fā)生了什么，風(fēng)險(xiǎn)是什么。有時(shí)，許多較不敏感的傳感器比幾個(gè)或更敏感的傳感器中的一個(gè)更好。

　　我如何確定在潔凈室中需要監(jiān)測(cè)的空氣顆粒樣點(diǎn)的數(shù)量，以及我應(yīng)該在哪里找到它們?

　　監(jiān)測(cè)點(diǎn)的位置和數(shù)量主要取決于產(chǎn)品和生產(chǎn)過(guò)程的要求，以及如何理解系統(tǒng)的使用。

　　我如何證明自動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的費(fèi)用是合理的?

　　為什么我不能使用我的樓宇自動(dòng)化或設(shè)施控制系統(tǒng)來(lái)監(jiān)控我的潔凈室?

　　我們的許多客戶已經(jīng)提出了這個(gè)問(wèn)題，從技術(shù)的角度來(lái)看，這是可能的。沒有完全集成到環(huán)境控制系統(tǒng)有幾個(gè)原因?？刂葡到y(tǒng)的主要責(zé)任是保持設(shè)施在一組給定的參數(shù)之間運(yùn)行?？刂品秶鷥?nèi)的數(shù)據(jù)通常不會(huì)被記錄。設(shè)施組的主要職責(zé)是通過(guò)維護(hù)和修理公用設(shè)施，使設(shè)施在設(shè)定點(diǎn)內(nèi)運(yùn)行。污染監(jiān)測(cè)更多地是質(zhì)量，工程或污染控制組的主要功能。傳感點(diǎn)放置與數(shù)據(jù)不同的意圖。

　　我們通常會(huì)將LMS系統(tǒng)集成到環(huán)境控制系統(tǒng)中，實(shí)際上我們鼓勵(lì)客戶這樣做。將這些數(shù)據(jù)(單向或雙向)集成到BCS或從BCS集成將增加兩個(gè)系統(tǒng)上的監(jiān)控點(diǎn)數(shù)量，從而讓客戶更好地了解受控環(huán)境中的情況。

　　控制系統(tǒng)和監(jiān)控系統(tǒng)有什么區(qū)別?

　　這些系統(tǒng)之間的主要區(qū)別在于它們所服務(wù)的體系結(jié)構(gòu)和原則。樓宇控制系統(tǒng)是根據(jù)設(shè)施的關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)和安裝的。安裝該系統(tǒng)的傳感器并提供反饋，以便自動(dòng)補(bǔ)償超出規(guī)定的事件。監(jiān)控系統(tǒng)適用于監(jiān)控信息的過(guò)程和產(chǎn)品水平。這兩個(gè)系統(tǒng)在一般環(huán)境中可能會(huì)有一些重疊，但這兩者對(duì)于調(diào)整您的過(guò)程是非常必要的。如果沒有監(jiān)控的過(guò)程級(jí)別，由于人員或設(shè)備的影響，您將無(wú)法檢測(cè)到過(guò)程環(huán)境的變化。

　　何時(shí)何地應(yīng)該使用基于離散的粒子計(jì)數(shù)器系統(tǒng)與歧管類型?

　　兩個(gè)系統(tǒng)都有它們的地位和用處?；陔x散的或遠(yuǎn)程的粒子計(jì)數(shù)器系統(tǒng)可以提供很高的分辨率而不會(huì)丟失任 每點(diǎn)的成本比歧管系統(tǒng)更昂貴，但有更好的機(jī)會(huì)捕捉間歇性的粒子偏移。多管采樣系統(tǒng)的成本效益要高得多，但是由于在歧管上旋轉(zhuǎn)一整圈所花費(fèi)的時(shí)間，犧牲了分辨率。您添加到歧管的歧管點(diǎn)越多，完成一個(gè)循環(huán)所用的時(shí)間就越長(zhǎng)，并且可能在抽樣其他位置時(shí)錯(cuò)過(guò)事件。

　　在評(píng)估您的過(guò)程以確定是否應(yīng)使用離散傳感器或歧管系統(tǒng)時(shí)，請(qǐng)考慮以下事項(xiàng)：

　　你想要監(jiān)控多少點(diǎn)?

　　你的預(yù)算是多少?

　　在那個(gè)地方?jīng)]有信息的時(shí)間最長(zhǎng)的是什么?

　　您關(guān)心的工具是否有周期時(shí)間?(自動(dòng)化，過(guò)程或清潔周期)

　　這是你的過(guò)程中的關(guān)鍵位置?

　　這個(gè)地方有相當(dāng)多的產(chǎn)品量嗎?

　　你有什么資料要報(bào)告給誰(shuí)?

　　簡(jiǎn)而言之，如果一個(gè)完整的采樣周期的最大時(shí)間超過(guò)了您的最大持續(xù)時(shí)間，您可以從一個(gè)點(diǎn)沒有數(shù)據(jù)，您應(yīng)該嘗試使用該位置的離散傳感器。在許多情況下，燈塔將推薦混合系統(tǒng)，或同時(shí)使用多種系統(tǒng)和獨(dú)立系統(tǒng)。用于非關(guān)鍵或較小關(guān)鍵位置的歧管系統(tǒng)，以及用于該關(guān)鍵部分的離散傳感器。這將使優(yōu)秀的覆蓋面和數(shù)據(jù)，仍然是成本效益。

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